超純水液體顆粒計數器核心用于半導體、制藥、光伏、電力、精密制造等領域，對超純水及高純工藝流體中的微 / 納米顆粒（0.05–10μm）做離線檢測或在線實時監控，保障工藝良率與產品可靠性。

一、半導體與微電子（最核心場景）

（1）晶圓制造超純水系統

制水端：RO/EDI/ 拋光混床出口、水箱循環，監測≥0.05μm 顆粒，控制≥0.5μm≤10 個 /mL、≥1μm≤2 個 /mL，避免濾芯老化 / 樹脂脫落污染。

輸送管網：主干管 / 支管 / 閥門 / 過濾器前后，在線 7×24 小時監測，溯源管網二次污染（如焊渣、密封圈碎屑）。

車間終端：光刻 / 蝕刻 / 沉積 / 清洗機用水點，防止顆粒導致電路短路、光刻缺陷、蝕刻不均。

（2）光刻膠與化學品

光刻膠配制 / 輸送 / 回收：監測 0.05–0.1μm 顆粒，避免晶圓表面缺陷、圖案失真。

蝕刻液 / 顯影液 / 剝離液：在線監控高純化學品顆粒，防止蝕刻不均、線路斷路。

（3）零部件清潔度驗證

硅片 / 石英 / 碳化硅部件：超純水超聲洗脫液檢測，量化清洗效果，評估供應商工藝。

泵 / 閥門 / 過濾器 / 管道：新部件驗收、定期維護，排查微顆粒脫落風險。

普洛帝PMT-2 超純水顆粒計數器

二、制藥與生物醫療

（1）注射用水（WFI）與純化水

循環回路：在線監測≥0.5μm 顆粒，符合 USP 788/EP 2.9.19，避免不溶性微粒超標引發輸液反應。

儲罐 / 分配系統：驗證 CIP/SIP 效果，確認清洗后無殘留顆粒。

（2）無菌制劑與醫療器械

注射劑 / 凍干粉針：離線檢測藥液顆粒，符合藥典標準，防止堵塞針頭、血管栓塞。

眼科溶液 / 沖洗液：控制≥0.5μm 顆粒≤5 個 /mL，避免眼部刺激、感染。

植入器械 / 導管：終洗超純水檢測，確保表面無微顆粒殘留。

（3）生物工藝

培養基 / 緩沖液配制水：控制顆粒，避免堵塞濾膜、影響細胞培養。

一次性生物反應器 / 凍存袋：表面洗脫液檢測，評估潔凈度。

三、光伏與新能源

（1）硅片 / 電池片制造

制絨 / 清洗 / 鈍化用水：監測≥0.1μm 顆粒，防止表面劃痕、色差、轉換效率下降。

漿料 / 切割液配制水：控制顆粒，避免切割線斷線、電池片隱裂。

（2）半導體材料

氮化鎵 / 碳化硅外延用水：0.05μm 級監測，保障外延層晶格質量。

四、電力與能源

（1）超臨界 / 超超臨界鍋爐補給水

鍋爐給水 / 凝結水：在線監測≥0.5μm 顆粒，防止鍋爐受熱面結垢、汽輪機磨損。

樹脂再生 / 清洗水：評估混床 / EDI 再生效果，避免樹脂碎片進入系統。

（2）核電

一回路 / 二回路純水：控制顆粒，防止放射性沉積、設備腐蝕。

五、精密制造與光學

（1）光學元件

鏡片 / 棱鏡 / 透鏡研磨 / 清洗水：監測≥0.1μm 顆粒，避免表面麻點、透光率下降。

鍍膜用水：控制顆粒，防止膜層針孔、脫落。

（2）精密機械

液壓 / 伺服系統清洗水：驗證清洗效果，防止閥芯卡滯、密封件磨損。

航空發動機 / 軸承部件：終洗水檢測，確保無金屬碎屑、研磨粉殘留。

六、實驗室與研發

超純水機性能驗證：新設備驗收、定期校準，對比不同品牌 / 型號過濾器效率。

納米材料研發：石墨烯 / 碳納米管分散液、納米涂層用水，監測顆粒團聚與雜質。

環境監測：高純水處理工藝優化、污染溯源研究，為工藝改進提供數據支撐。

七、應用模式與關鍵指標

離線檢測（臺式 / 便攜式）：實驗室取樣、現場快速抽檢，粒徑 0.05–100μm，濃度 0–10?個 /mL。

在線監測（管道式）：24 小時連續監測、超標報警、數據記錄，粒徑 0.05–10μm，響應時間≤1s。

核心標準：ISO 21501、GB/T 37163、SEMI C79、USP 788。

總結

超純水液體顆粒計數器是 “水質顯微鏡"，從納米級半導體到微米級制藥制劑，從電力鍋爐到光學元件，通過精準控制超純水中的微顆粒，直接保障產品良率、設備可靠性與生產安全。